高纯氦气纯化常用技术包括：低温吸附法、变压吸附、膜分离技术等。

    高纯氦气低温吸附法使用活 性炭、硅胶或分子筛在低温下脱除水、氧、氮等杂质。高纯氦气变压吸附（PSA）适用于中小型装置，可将工业级氦气（99.9%）提纯至高纯级。高纯氦气膜分离技术适用于天 然气提氦或回收气预处理。高纯氦气金属吸气剂/催化除杂用于深 度脱除微量氢、氧、碳氢化合物等。

    精馏塔用于大规模提纯高纯氦气，若以含氦天 然气为原料（氦含量 >0.2%），需先脱硫脱水，再通过低温精馏分离氮、甲烷等，最后结合PSA或膜法获得高纯氦气。文章来源：高纯氦气http://www.bzanxing.com